Naam:

6 inch Quartz Boat Series

Functie & Toepassing:

Deze serie omvat diverse kwartsboten, zoals kooiboten, baffelboten, basisboten en standaard waferboten, ontworpen voor het ondersteunen van siliciumwafers tijdens hogetemperatuurhalfgeleiderprocessen zoals diffusie, oxidatie, CVD-depositie en waferreiniging. Deze verschillende vormen en structuren optimaliseren de gasstroom, thermische uniformiteit en waferstabiliteit over een breed scala aan productie- en onderzoekstoepassingen.

Prestatie-eisen:

Hoogzuivere fusiekwartsconstructie met uitstekende thermische stabiliteit, corrosiebestendigheid en een laag onzuiverheidsgehalte. Robuust ontwerp om herhaalde thermische cyclus te weerstaan. Gladde, gepolijste of zandgestraalde oppervlakken om deeltjesvorming en vervuiling te minimaliseren, zodat compatibiliteit met geautomatiseerde waferbehandelingssystemen en verschillende oventypes worden gegarandeerd.