Naam:
8-inch kwartsbases
Functie & Toepassing:
Verschillende baffles worden in het midden van de basis geplaatst om de gasstroom te verspreiden en stabiele gasblootstelling aan siliciumwafers in de kwartsboot bovenop te garanderen. Het wordt toegepast in waferproductieprocessen zoals diffusie, oxidatie, CVD-depositie en annealing, wat hogetemperatuurprocessen zijn.
Prestatie-eisen:
Hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, uitstekende thermische stabiliteit, gezandstraald oppervlak en een laag onzuiverheidsgehalte.
Nr. 5177 Qianghua Westweg, Dongqianstraat, Nanxun-district, Huzhou-stad, provincie Zhejiang
+86-572-3032373
+86-572-3033016
DeGefuseerd kwartsvoetstuk is een cruciaal ondersteuningscomponent ontworpen voor halfgeleider- en fotovoltaïsche hoogtemperatuurverwerkingsapparatuur. Gemaakt van ultrazuiver gefuseerd kwarts, biedt het uitstekende thermische schokbestendigheid, chemische inertie en mechanische duurzaamheid onder strenge thermische cyclus.
Dit voetstuk zorgt voor een stabiele en precieze positionering van wafers of kwartsboten binnen diffusie-, oxidatie-, lpvd- en gloeiovens. Ontworpen voor compatibiliteit met diverse 8 inch kwartsboten en ovensystemen, ondersteunt het gesmolten kwartsvoetstuk een betrouwbare, verontreinigingsvrije verwerking die essentieel is voor geavanceerde halfgeleiderfabricage.
Duurzame gesmolten kwartsvoetstukken zijn bestand tegen herhaalde thermische cyclus en chemische blootstelling, waardoor breuk en vervorming worden geminimaliseerd. Minder vervangingen betekent op termijn lagere inkoopkosten.
Betrouwbare sokkels zorgen voor een stabiele plaatsing van de wafer en een constante gasstroom, waardoor het risico op het uitvallen van de oven door het falen van de sokkel wordt verminderd. Minder stilstand vertaalt zich direct in hogere productie-efficiëntie en kostenbesparingen.
Hoogwaardige gesmolten kwarts is bestand tegen corrosie en verontreiniging, waardoor de noodzaak voor schoonmaak en onderhoud minder nodig is. Onderhoudsteams kunnen zich richten op andere kritieke taken, waardoor arbeidskosten worden bespaard.
Stabiele voetstukken behouden een uniforme thermische verdeling en afstand, waardoor waferdefecten afnemen en de opbrengst toeneemt. Een hogere opbrengst vermindert verspilde materialen en verbetert de algehele winstgevendheid.
Hoewel duurzame gesmolten kwartsvoetstukken een hogere initiële kosten kunnen hebben, zorgen hun levensduur, prestatiestabiliteit en vermindering van indirecte kosten voor een gunstig rendement op investering voor halfgeleiderfabrikanten.